基於等效元件的長春測上CGH檢具測量精度校驗方法示意圖。中國科學院長春光機所製圖據了解，光機光學超大口徑高精度非球麵光學反射鏡是所超高分辨率空間對地觀測、深空探測和天文觀測係統的大口核心元件，其製造技術水平對國防安全、徑非鏡檢國民經濟建設、球麵基礎科研能力而言具有重要意義。反射超大口徑非球麵反射鏡的獲新表麵形狀往往要求達到納米級精度，這就對控製其表麵形狀精度的突破檢具提出了超高要求。目前，長春測上CGH補償幹涉檢測技術是光機光學這一領域唯一且精度最高的檢測方法。針對CGH檢具的所超測量精度標定，廣泛使用的大口方法主要包括製造誤差分析、ImitatorCGH以及複合相位CGH檢驗等，徑非鏡檢但這些方法並不能對CGH檢具的球麵實際衍射波前進行直接檢驗。比較檢驗是一種直接的精度檢驗方法，通過使用兩種及以上檢測技術測試同一光學元件。然而，對超大口徑非球麵反射鏡的對比檢驗往往缺乏精度相當的多方法對比測量技術。輪廓檢測法是一種具有潛力的高精度檢測技術，但會受到測量口徑的嚴重限製。為突破口徑限製，該研究團隊提出了一種基於等效元件的CGH檢具測量精度校驗方法。該技術方案主要包括等效元件製造、比較檢驗和精度驗證三個部分。通過模擬非球麵波前傳播過程，設計小口徑等效元件，使其在自準直測量光路中與超大口徑非球麵反射鏡完全等效，進而采用小口徑高精度輪廓檢測等效元件傳遞的非球麵波前基準，解決了超大口徑非球麵反射鏡CGH補償元件的精度校驗難題。該研究團隊指出，該技術為CGH檢具的精度驗證提供了可行的解決方案，確保了超大口徑非球麵反射鏡的高精度和高可靠性檢測。目前，該技術成果以“Accuracyverificationmethodologyforcomputer-generatedhologramusedfortestinga3.5-metermirrorbasedonanequivalentelement”為題發表在Light：AdvancedManufacturing。中國科學院長春光機所博士生徐凱為論文第一作者，研究員胡海翔、張誌宇為論文通訊作者。